일본이 불화수소 가스 수출 1건을 허가한 사실을 산업통상자원부가 29일 확인한 것으로 30일 알려졌다. 수출 허가 신청은 일본이 수출 규제에 들어간 지난달 4일 전후로 알려졌다. 정확한 수출물량과 순도는 아직 확인되지 않았으나 수입하는 기업은 삼성전자인 것으로 알려졌다.

불화수소는 반도체 제조 공정에서 회로를 새길 때 사용하는 필수 소재다. 삼성전자와 SK하이닉스 등 국내 반도체 기업이 확보에 주력해 왔다. 이번에 수출이 허가된 불화수소는 일본 업체 스텔라 제품이다.

불화수소는 반도체의 핵심 소재인 웨이퍼(원판)에 회로를 새기는 삭각 공정이나 불순물을 제거하기 위한 세정작업 등에 활용된다. 이 과정에서 잔여물이 회로에 남게 되면 불량품을 만들어지기 때문에 순도가 높은 99.999%의 불화수소를 사용해야 한다. 이 분야는 일본이 앞선 기술을 보유하고 있다.

한편 일본이 지난 7월 한 달간 한국으로 수출한 고순도 불화수소는 수출규제 영향으로 전월 대비 80% 넘게 감소한 것으로 나타났다.